[发明专利]一种多表面干涉测量中腔长反算算法在审
| 申请号： | 202211029024.0 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115615351A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 常林;李兵;于瀛洁 | 申请（专利权）人： | 湖州师范学院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/25;G06F17/14;G06F17/18;G06F18/15 |
| 代理公司： | 青岛智地领创专利代理有限公司 37252 | 代理人： | 陈海滨 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种一种多表面干涉测量中腔长反算算法，该算法包括一个频峰独立采样的方法、一个频率采样折叠腔长反算方法、一个头部周期腔长反算方法。通过对多次不同采样下得到的光强数据进行分析，可以精确地对多表面测量中各干涉谐波的腔长进行反算，该算法容易实现，技术难度较低，方式新颖，计算精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 干涉 测量 中腔长反 算算 | ||
【主权项】：
暂无信息
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