[发明专利]单晶炉冷却系统在审
申请号: | 202211016829.1 | 申请日: | 2022-08-24 |
公开(公告)号: | CN115449893A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 焦鹏;黄旭光;苏立宁 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 史雅琪 |
地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本申请属于单晶生产技术领域,具体涉及单晶炉冷却系统。单晶炉冷却系统包括:单晶炉设置有连通单晶炉的内腔和单晶炉外部空间的冷却通道以及控制冷却通道开启或者关闭的控制单元;冷却装置设置于单晶炉的外部,冷却装置包括冷源端,冷源端用于吸收单晶炉的内腔热量;当控制单元使得冷却通道开启时,冷却装置支配冷源端沿冷却通道进入到单晶炉的内腔;当冷却装置支配冷源端移出单晶炉的内腔后,控制单元使得冷却通道关闭。相比自然冷却的方式而言,本案能够更为快速地吸收单晶炉内部的热量,从而缩短单晶炉的冷却时间;另外,相比直接开启单晶炉而言本案能够在一定程度上减少氧气进入到单晶炉的内腔,进而延缓单晶炉内部的保温材料的氧化。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 冷却系统 | ||
【主权项】:
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