[发明专利]机台overlay监测方法、存储介质及系统在审
| 申请号： | 202211009621.7 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115453827A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 周侃;王志宏;赵弘文 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机台overlay监测方法，包括以下步骤：KT机台拍摄overlaymark照片；将拍摄照片与预存照片进行图像对比，若对比度超过指定阈值，则判断标记正常，正常进行KT量测；若对比度小于等于指定阈值，则判断标记错误，退回到image为基础的量测。本发明能有效监测8um shift error，避免造成线上跑货实际情况的误判，使有问题的wafer流出，造成不可挽回的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 overlay 监测 方法 存储 介质 系统 | ||
【主权项】：
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