[发明专利]机台overlay监测方法、存储介质及系统在审
| 申请号： | 202211009621.7 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115453827A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 周侃;王志宏;赵弘文 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机台 overlay 监测 方法 存储 介质 系统 | ||
1.一种机台overlay监测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，KT机台拍摄overlay mark照片；
S2，将拍摄照片与预存照片进行图像对比，若对比度超过指定阈值，则判断标记正常，正常进行KT量测；
若对比度小于等于指定阈值，则判断标记错误，退回到image为基础的量测。
2.如权利要求1所述的机台overlay监测方法，其特征在于：若对比度小于等于指定阈值，还将拍摄照片与预存照片进行二值化图像灰阶值对比。
3.如权利要求2所述的机台overlay监测方法，其特征在于：进行二值化图像灰阶值对比时，若X和Y两个方向均得到4条峰值；
则分别计算X和Y方向上第一条灰阶峰和第三条灰阶峰中心位置差，第二条灰阶峰和第四条灰阶峰中心位置差，分别得到X和Y方向的overlay值。
4.如权利要求2所述的机台overlay监测方法，其特征在于：进行二值化图像灰阶值对比时，若在X和Y两个方向其中仅一个方向得到四条灰阶峰,另外方向仅得到两条灰阶峰，则判断在只出现两条灰阶峰的方向出现错误，机台向EAP报FDC hold 8um错误发生。
5.如权利要求2所述的机台overlay监测方法，其特征在于：
进行二值化图像灰阶值对比时，若在X和Y两个方向均得到小于等于三条灰阶峰,则判断标记损坏。
6.一种用于执行如权利要求1-5任意一项所述的机台overlay监测方法中步骤的计算机可读存储介质。
7.一种用于执行如权利要求1-5任意一项所述的机台overlay监测方法的计算机系统。
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