[发明专利]电阻式存储器装置及电阻式存储器装置的制造方法在审
申请号: | 202211000694.X | 申请日: | 2022-08-19 |
公开(公告)号: | CN116507133A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 姜仁求 | 申请(专利权)人: | 爱思开海力士有限公司 |
主分类号: | H10B63/00 | 分类号: | H10B63/00;H10N70/20;G11C13/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 叶朝君;张美芹 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了电阻式存储器装置及电阻式存储器装置的制造方法。该电阻式存储器装置包括:层叠结构,其中交替地层叠有多个层间绝缘层和多个导电层;孔,其在垂直方向上贯穿层叠结构;以及栅极绝缘层、沟道层和可变电阻层,其沿着多个导电层的与孔相邻的侧壁和多个层间绝缘层的与孔相邻的侧壁形成。 | ||
搜索关键词: | 电阻 存储器 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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