[发明专利]晶圆裂片设备用试验装置在审
| 申请号： | 202210992419.4 | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN115389237A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;卢铎文 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆裂片设备用试验装置，包括加工轴滑板、击锤和劈刀，加工轴滑板沿着Z轴方向安装在外部的加工轴上，通过加工轴可驱动加工轴滑板沿着Z轴方向移动，加工轴滑板沿着X轴方向的中间位置设置有击锤，击锤固定零件沿着Z轴负方向的一侧设置有劈刀。本发明通过晶圆裂片设备用试验装置的结构设置，可以方便对晶圆裂片加工中的多个参数进行测试试验，通过研究击锤敲击性能，弹簧系数，综合劈刀安装刀架自重力，反复多次测试击锤不同安装位置，弹簧不同压缩量下劈刀的位移，形成完整数据。 | ||
| 搜索关键词： | 裂片 备用 试验装置 | ||
【主权项】：
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