[发明专利]晶圆裂片设备用试验装置在审
| 申请号： | 202210992419.4 | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN115389237A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;卢铎文 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 裂片 备用 试验装置 | ||
1.晶圆裂片设备用试验装置，包括加工轴滑板(1)、击锤(5)和劈刀(6)，其特征在于，所述加工轴滑板(1)沿着Z轴方向安装在外部的加工轴上，通过加工轴可驱动所述加工轴滑板(1)沿着Z轴方向移动，所述加工轴滑板(1)沿着X轴方向的中间位置设置有击锤(5)，所述击锤(5)通过若干个紧定螺钉压紧在击锤固定零件(7)上，所述击锤(5)的推杆朝向Z轴负方向的一侧，所述击锤固定零件(7)沿着Z轴方向固定安装在加工轴滑板(1)上，所述击锤固定零件(7)沿着Z轴负方向的一侧设置有劈刀(6)，所述劈刀(6)沿着X轴方向安装在劈刀安装板(2)上沿着Z轴负方向的一侧，所述击锤(5)沿着X轴方向两侧的加工轴滑板(1)上均设置有弹簧固定块(9)，所述弹簧固定块(9)上沿着Z轴方向悬挂安装有转接板(10)，所述转接板(10)沿着Z轴负方向的一侧与下方的劈刀安装板(2)相连接。
2.如权利要求1所述的晶圆裂片设备用试验装置，其特征在于，所述击锤(5)沿着Z轴正方向一侧的加工轴滑板(2)上还设置有击锤敲击柱限位零件(8)，所述击锤敲击柱限位零件(8)用于实现对击锤(5)敲击回弹后的限位。
3.如权利要求2所述的晶圆裂片设备用试验装置，其特征在于，所述加工轴滑板(2)上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个排限位螺纹孔，所述击锤敲击柱限位零件(8)通过限位螺纹孔安装在加工轴滑板(2)上。
4.如权利要求1所述的晶圆裂片设备用试验装置，其特征在于，所述转接板(10)通过弹簧压缩螺栓(4)安装在弹簧固定块(9)上。
5.如权利要求4所述的晶圆裂片设备用试验装置，其特征在于，所述弹簧压缩螺栓(4)穿过压缩弹簧(3)后拧紧到转接板(10)上，所述弹簧压缩螺栓(4)、压缩弹簧(3)和转接板(10)共同沿着Z轴方向悬挂安装在弹簧固定块(9)上。
6.如权利要求5所述的晶圆裂片设备用试验装置，其特征在于，所述压缩弹簧(3)的长度为30mm，外径为12mm，弹性系数为17.25N/mm。
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