[发明专利]红外LED外延结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202210991644.6 | 申请日： | 2022-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN115498080A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王亚宏;李森林;廖寅生;薛龙;赖玉财;谢岚驰 | 申请（专利权）人： | 厦门士兰明镓化合物半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01L33/04;H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;杨思雨 |
| 地址： | 361012 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种红外LED外延结构及其制造方法，该红外LED外延结构包括从下至上依次堆叠的：衬底、第一半导体层、第一空间层、多量子阱层、第二空间层以及第二半导体层，第一半导体层和第二半导体层的掺杂类型相反，其中，第一空间层和第二空间层为超晶格结构，第一空间层各层中的最高Al组分小于第二空间层各层中的最高Al组分以使第一空间层和第二空间层形成非对称结构。本申请中的非对称空间层能够提高有效势垒的高度，抑制载流子的溢出，提升对载流子的量子限制效应；并且由于超晶格的隧道特性，载流子的迁移率得到提升；此外，采用非对称设计可以有效降低载流子溢出多量子阱，改善光场分布，提升红外发光二极管的光电效率及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 led 外延 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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