[发明专利]基于高结晶性单壁碳纳米管的柔性、高性能红外光电探测器的制备方法

摘要

本发明涉及柔性、宽带红外光电探测器领域，具体为一种基于高结晶性单壁碳纳米管的柔性、高性能红外光电探测器的制备方法。以单壁碳纳米管作为光电转换材料，将浮动催化剂化学气相沉积法制备并干法收集的高结晶性单壁碳纳米管薄膜转移到带有电极的镂空柔性基底上，即完成柔性单壁碳纳米管光电探测器基元的组装。单壁碳纳米管具有高宽带吸收系数，悬空结构减低热散失，高结晶性管壁降低载流子在管间跃迁的概率，从而抑制反向光电流的产生。最终获得了柔性、高性能、宽带红外光电探测器。