[发明专利]一种纳米压印硬模的制备方法在审
| 申请号： | 202210970422.6 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115356893A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 郭培亮;李莹;吾晓;张玉良;饶轶 | 申请（专利权）人： | 歌尔光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王永亮 |
| 地址： | 261061 山东省潍坊市高新区清池街*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开实施例公开了一种纳米压印硬模的制备方法。该制备方法包括：提供压印片，所述压印片具有胶层，所述胶层形成有第一光栅槽，所述第一光栅槽形成设定纹路；对所述第一光栅槽进行修饰，以形成修饰槽，所述修饰槽的宽度大于所述第一光栅槽的宽度，所述修饰槽的深度等于所述第一光栅槽的深度；在所述修饰槽上镀薄膜层，以形成第二光栅槽，所述薄膜层的硬度大于所述胶层的硬度，所述第二光栅槽的尺寸与所述第一光栅槽的尺寸相同，所述第二光栅槽形成所述设定纹路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 制备 方法 | ||
【主权项】：
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