[发明专利]晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质在审
| 申请号： | 202210965209.6 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115371876A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 上海芯物科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00 |
| 代理公司： | 上海大邦律师事务所 31252 | 代理人： | 孙成 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质，包括以下步骤：设定刷压值并操作刷部下压载具；载具检测压力值；设定不同的刷压值并重复上述步骤至少一次；根据所述检测压力值计算实际刷压值；判断所有实际刷压值与设定刷压值之间的误差是否在设定范围内；若均是，判定机台参数设定合格。本发明的检测方法不用停机打开清洗腔体即可测试刷压是否异常，节约了停机时间和更换刷部的时间，大大提高生产效率和检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆清 洗刷 在线 检测 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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