[发明专利]晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质

说明书

本发明涉及晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质，包括以下步骤：设定刷压值并操作刷部下压载具；载具检测压力值；设定不同的刷压值并重复上述步骤至少一次；根据所述检测压力值计算实际刷压值；判断所有实际刷压值与设定刷压值之间的误差是否在设定范围内；若均是，判定机台参数设定合格。本发明的检测方法不用停机打开清洗腔体即可测试刷压是否异常，节约了停机时间和更换刷部的时间，大大提高生产效率和检测效率。

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质。

背景技术

在晶圆的化学机械研磨工艺中，晶圆通常经过粗磨、精磨、清洗、干燥四个工序，以实现晶圆面内平坦化的要求。其中清洗步骤通常通过毛刷以及化学药剂清除粗磨细磨过程中产生的颗粒和研磨液残留物。清洗效果直接决定了化学机械研磨研磨的质量，其中清洗效果与毛刷的使用次数、毛刷的压力、化学液的浓度等因素强相关。而在实际生产过程中毛刷的压力不稳，因此需要不定期进行校准。传统的压力载具是将量测冶具放在机台清洗腔体内的载具中，压力计上下分别对应上毛刷和下毛刷，通过连接线外接显示器。该方法需要先把清洗腔体用水清洁，然后开腔把毛刷小心保存，使用量测治具替代毛刷测量毛刷的下压力，确定线性关系和设定的压力值是否正常，如果不正常就进行校准或者更换相关零件，校准完还需要对腔体内进行颗粒检测。传统的刷压检测方法具有以下缺陷：

(一)传统量测冶具体积大，厚度达3cm，其安装的传感器及其他部件同样占据较大空间，必须要打开机台腔体才能放入量测冶具检测刷压，操作时间久或者操作不小心还会污染腔体内环境，导致颗粒检测失败，或者需要更换新刷，导致成本增加以及清洗效果降低；

(二)通常该方法需要操作4小时，影响生产效率；

(三)传统的检测方法不具备检测清洁用水或化学品的点位和流量是否偏离的功能。

发明内容

针对上述现有技术的缺点，本发明的目的是提供晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质，以解决现有技术中的一个或多个问题。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

晶圆清洗刷压在线检测方法，包括以下步骤：

设定刷压值并操作刷部下压载具；

载具检测压力值；

设定不同的刷压值并重复上述步骤至少一次；

根据所述检测压力值计算实际刷压值；

判断所有实际刷压值与设定刷压值之间的误差是否在设定范围内；

若均是，判定机台参数设定合格。

可选的，在所述晶圆清洗刷压在线检测方法中，实际刷压值的计算步骤包括：

检测压力值代入线性公式；

得到实际刷压值。

可选的，在所述晶圆清洗刷压在线检测方法中，所述公式为

其中，z为检测压力值，单位为N；y为实际刷压值，单位为N；S为上冶具与载具接触面积，单位为mm²；S₁为上冶具与压力检测器接触面积，单位为mm²。

可选的，在所述晶圆清洗刷压在线检测方法中，在得到实际刷压值的步骤之后，还包括：

统计检测次数以及每次得到的检测压力值、实际刷压值。

可选的，在所述晶圆清洗刷压在线检测方法中，实际刷压值与设定刷压值之间的误差值是否在设定范围内的判断步骤包括：

实际刷压值与设定刷压值之间误差值的绝对值是否小于设定刷压值的7％。