[发明专利]晶圆清洗刷压在线检测方法、载具、存储介质

权利要求书

1.晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：包括以下步骤：

设定刷压值并操作刷部下压载具；

载具检测压力值；

设定不同的刷压值并重复上述步骤至少一次；

根据所述检测压力值计算实际刷压值；

判断所有实际刷压值与设定刷压值之间的误差值是否在设定范围内；

若均是，判定机台参数设定合格。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：实际刷压值的计算步骤包括：

检测压力值代入公式；

得到实际刷压值。

3.如权利要求2所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：在得到实际刷压值的步骤之后，还包括：

统计检测次数以及每次得到的检测压力值、实际刷压值。

4.如权利要求1所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：实际刷压值与设定刷压值之间的误差值是否在设定范围内的判断步骤包括：

实际刷压值与设定刷压值之间误差值的绝对值是否小于设定刷压值的7％。

5.如权利要求4所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：实际刷压值与设定刷压值之间的误差值是否在设定范围内的判断步骤包括：

利用实际刷压值与设定刷压值拟合线性公式，判断拟合线性系数与原线性系数之间误差值的绝对值是否小于原线性系数的3％。

6.如权利要求5所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：采用最小二乘法拟合线性公式。

7.如权利要求1所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：在设定刷压值并操作刷部下压载具的步骤前，还包括步骤：

将载具传送至机台的清洗腔体内。

8.如权利要求7所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：在将载具传送至机台的清洗腔体内的步骤前，还包括步骤：

将线性公式写入载具。

9.如权利要求1所述的晶圆清洗刷压在线检测方法，其特征在于：采用压力检测装置集成于所述载具检测压力值。

10.晶圆清洗刷压在线检测载具，其特征在于：包括本体，所述本体与晶圆尺寸相同，所述本体内包括：

压力检测装置，用于检测压力值；

计算模块，用于利用检测压力值计算实际刷压值；

存储模块，用于存储计算机程序以及线性公式。

11.如权利要求10所述的晶圆清洗刷压在线检测载具，其特征在于：所述本体包括：

判断模块，用于判断实际刷压值与设定刷压值之间的误差是否在设定范围内，若均是，判定机台参数设定合格。

12.如权利要求10所述的晶圆清洗刷压在线检测载具，其特征在于：所述本体包括：

第一压力传感器，用于检测刷部下压时第一压力传感器表面受到的压力值。

13.如权利要求12所述的晶圆清洗刷压在线检测载具，其特征在于：所述第一压力传感器外径不超过30mm。

14.如权利要求12所述的晶圆清洗刷压在线检测载具，其特征在于：所述本体还包括：

第二压力传感器，用于检测清洗时第二压力传感器表面受到的压力值。

15.如权利要求10所述的晶圆清洗刷压在线检测载具，其特征在于：所述本体还包括：

公式计算模块，用于将检测压力值代入线性公式，并得到实际刷压值；

统计模块，用于统计检测次数以及每次得到的检测压力值、实际刷压值。