[发明专利]光波导及微波光子测量和空气隙型结构的压力传感系统在审
| 申请号： | 202210947512.3 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN115290234A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 黎李汶娟;孙成亮;蔡耀;胡少华;许秉乾;高超;刘炎;刘文娟 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02;G02B6/122;G02B6/125 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 杨震 |
| 地址： | 430072 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本申请公开了光波导及微波光子测量和空气隙型结构的压力传感系统。该光波导位于硅基底上，所述光波导包括依次叠置的SiO |
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| 搜索关键词： | 波导 微波 光子 测量 空气 结构 压力 传感 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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