[发明专利]光波导及微波光子测量和空气隙型结构的压力传感系统在审
| 申请号： | 202210947512.3 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN115290234A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 黎李汶娟;孙成亮;蔡耀;胡少华;许秉乾;高超;刘炎;刘文娟 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L11/02;G02B6/122;G02B6/125 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 杨震 |
| 地址： | 430072 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导 微波 光子 测量 空气 结构 压力 传感 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种光波导，其特征在于，所述光波导位于硅基底上，所述光波导包括依次叠置的SiO2层、PMMA层和NOA层。
2.根据权利要求1所述光波导，其特征在于，所述NOA层的材质为NOA63、NOA73或NOA81。
3.一种微波光子测量和空气隙型结构的压力传感系统，其特征在于，包括硅基底，位于所述硅基底上的环形波导、直波导，用以产生激光的半导体激光器和与所述所述直波导光纤连接所述光电探测器；所述半导体激光器光纤连接所述直波导，所述直波导用以与所述环形波导形成耦合，所述环形波导设置在弹性薄膜上；
其中，所述环形波导、直波导为被构造成权利要求1所述光波导的形式。
4.根据权利要求3所述压力传感系统，其特征在于，所述硅基底为空气隙型结构。
5.根据权利要求3所述压力传感系统，其特征在于，所述硅基底为N型(100)双面抛光硅片。
6.根据权利要求3所述压力传感系统，其特征在于，所述环形波导位于所述弹性薄膜的边缘位置。
7.根据权利要求3所述压力传感系统，其特征在于，所述光电探测器采用光电转换PN结光电探测器。
8.根据权利要求3所述压力传感系统，其特征在于，所述光电探测器的输入端与直波导的输出端通过v形槽连接。
9.根据权利要求3所述压力传感系统，其特征在于，所述半导体激光器的输出端与直波导的输入端通过v形槽连接。
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