[发明专利]光干涉测距传感器

摘要

本发明公开了即便在计测对象物包含粗糙面及镜面的情况下也能适当地测距的光干涉测距传感器。光干涉测距传感器具备：波长扫描光源；干涉仪，包括使从波长扫描光源投射的光分支的分支部，针对该分支出的各个光，基于照射于计测对象物并由计测对象物反射的测定光和沿着与该测定光至少一部分不同的光路的参照光而产生各干涉光；受光部，接受各干涉光；处理部，根据镜面模式或粗糙面模式，使检测出的峰值与斑点相对应而计算出至计测对象物为止的距离，针对被分支出的各个光，设定为光路长度差不同，在镜面模式的情况下，处理部将基于与光路长度差为最短的斑点对应的峰值而计算出的距离作为至计测对象物为止的测距结果。