[发明专利]一种超大规模晶圆异常数据的特征提取方法有效
| 申请号： | 202210934783.5 | 申请日： | 2022-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN115063413B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 金琼洁;刘卫卫;彭德彪;黄建 | 申请（专利权）人： | 宁波鑫芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06T5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及图像数据处理技术领域，具体涉及一种超大规模晶圆异常数据的特征提取方法，该方法包括：获取晶圆图像，对晶圆图像进行区域划分和灰度分割图像处理，得到功能区域集合、晶圆灰度图像和多个超像素点聚簇；从功能区域集合中筛选出低缺陷功能区域；对功能区域中的超像素点聚簇进行吸附处理，确定待滤除超像素点聚簇；对晶圆灰度图像进行离散噪声去除和非离散去噪增强图像处理；提取去噪增强缺陷图像中的缺陷特征，得到异常数据，生成异常缺陷信息。本发明提供的方法采用图像数据处理的方式，进行相关的图像数据处理，解决了超大规模晶圆异常数据的特征提取的准确度低下的技术问题，提高了超大规模晶圆异常数据的特征提取的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超大规模 异常 数据 特征 提取 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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