[发明专利]一种减薄机及其控制方法在审
| 申请号： | 202210921278.7 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115229591A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 杨云龙;赵锋;孙志超;张天华;葛凡 | 申请（专利权）人： | 江苏京创先进电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B49/16;B24B41/06;B24B49/00;H01L21/304;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 刘彦伟 |
| 地址： | 215500 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明涉及晶圆减薄技术领域，公开了一种减薄机及其控制方法。减薄机包括：承片台，其上水平设置有用于吸附晶圆的吸盘；进给组件，其包括在竖直方向上呈直线设置的主轴及磨轮，磨轮固定设置在主轴上靠近晶圆的一端，主轴能够竖直向下移动，以带动磨轮竖直向下移动并抵接至晶圆；测力传感器，其设置在主轴上，测力传感器用于检测主轴施加至磨轮的磨削力F，且磨削力F与主轴在竖直方向上的下降速率f |
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| 搜索关键词： | 一种 减薄机 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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