[发明专利]一种镍铝合金溅射靶材及其热压制备方法在审
| 申请号： | 202210914841.8 | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN115255367A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;C22C19/03;C22C1/04;C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种镍铝合金溅射靶材及其热压制备方法，所述热压制备方法包括混粉、装模、热压烧结和机加工，并控制热压烧结的目标温度为1100～1250℃，可以降低能耗和成本，具有流程较短、操作简单的优点，适合大规模推广，而且制备得到的镍铝合金溅射靶材具有致密度在99％以上、内部组织均匀、成分均匀、机加工性能优异等优点，可以用于第三代半导体用真空磁控溅射镀膜或真空多弧离子镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝合金 溅射 及其 热压 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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