[发明专利]一种行星转动镀膜装置的均匀性模拟和测试方法在审
| 申请号： | 202210912400.4 | 申请日： | 2022-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN115418619A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 罗达金 | 申请（专利权）人： | 四川中科朗星光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 杨鑫鑫 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学镀膜技术领域，尤其是一种行星转动镀膜装置的均匀性模拟和测试方法，该方法在已知蒸发源和行星夹具结构的条件下，可实现对真空镀膜均匀性的准确模拟，以及对镀膜均匀性的快速优化。将蒸发源视作具有一定倾斜角度的大口径平面靶，膜料通过物理或化学气相沉积，在平面行星夹具的基底材料表面形成薄膜，首先测试夹具在任一高度下的镀膜均匀性，再通过模拟计算来确定蒸发源的蒸发特性，进而以模拟方法来确定出夹具的最佳位置，最后按模拟的最佳位置对均匀性进行第二次实际测试。该方法避免了在镀膜均匀性测试过程中反复多次调节结构位置，仅需根据模拟和计算，便能确定镀膜均匀性的最佳位置，具有简便快捷、操作性强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行星 转动 镀膜 装置 均匀 模拟 测试 方法 | ||
【主权项】：
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