[发明专利]一种石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法在审
| 申请号： | 202210907405.8 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115372090A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 冯小波;赵坤;韩鹏宇;崔云涛;韦路锋;赵丙权;王妍妍;田纪遨;张志涛 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34;G01N21/958 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 刘英梅 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法，步骤为：1、对样件上表面进行超精密磨削加工，清洗加工后的样件；2、将清洗烘干后的单面抛光硅片的抛光面与样件加工面均匀粘接，待胶层固化后，进行横纵方向的分切，分成多个小样件；3、取一块形状方正的小样件，仅一个侧面外露的方式包固在外套件内；4、固定住外套件，对样件外露侧面进行无损渐进式抛光，抛光后清洗、烘干；5、将样件放入氢氟酸腐蚀溶液中腐蚀，并进行清洗烘干；6、利用离子溅射仪对抛光腐蚀后的侧面喷金处理，形成导电层；7、通过扫描电子显微镜观察样件截面并拍摄截面图像，通过图像数据处理软件测得材料亚表面损伤深度。本方法可获取样件表面损伤深度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英玻璃 表面 损伤 深度 样件 制作 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国船舶重工集团公司第七0七研究所，未经中国船舶重工集团公司第七0七研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210907405.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
