[发明专利]流控制系统、包含该系统的基板处理装置和基板处理方法在审
| 申请号： | 202210902392.5 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115681550A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 金康卨 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | F16K7/10 | 分类号： | F16K7/10;F16K27/02;F16K31/12;F16K37/00;F17D3/01 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明构思提供一种流控制系统。该流控制系统包括：设置在管道内的节气阀，用于通过收缩或膨胀来控制所述管道的打开/闭合率；以及压力控制单元，用于将气体供应到所述节气阀中或者使所述节气阀的内部排气，并且其中所述压力控制单元包括压力控制管，用于使所述气体通过所述节气阀的入口流入/流出所述节气阀。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 包含 系统 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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