[发明专利]转印膜、具有导体图案的层叠体的制造方法、感光性组合物在审
申请号: | 202210902364.3 | 申请日: | 2022-07-28 |
公开(公告)号: | CN115685701A | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 儿玉邦彦;鬼塚悠 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42;G03F7/16;G03F7/027 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够形成抗蚀图案且所形成的抗蚀图案的剥离性优异的转印膜、具有导体图案的层叠体的制造方法及感光性组合物。一种转印膜,其具有临时支承体和感光性组合物层,其中,感光性组合物层包含树脂A、聚合性化合物及聚合引发剂,树脂A包含具有通过碱的作用而生成碱溶性基团的基团的结构单元a和具有酸基的结构单元b。 | ||
搜索关键词: | 转印膜 具有 导体 图案 层叠 制造 方法 感光性 组合 | ||
【主权项】:
暂无信息
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