[发明专利]测厚探头、测厚装置及测厚方法有效
| 申请号： | 202210890444.1 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN115077401B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 王三宏;金少峰;杨灏 | 申请（专利权）人： | 深圳市深视智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈舟苗 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南山区桃源街道福光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种测厚探头、测厚装置及测厚方法。测厚探头包括：准直镜，用于将发散的第一高斯光束转换为准直的第二高斯光束；以及光束转换组件，与准直镜间隔设置，用于将第二高斯光束转换为第一贝塞尔光束，输出的第一贝塞尔光束出射至透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面，光束转换组件还用于分别接收透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面反射的两束第一光束，并转换合成准直的第二光束，第二光束经由准直镜转换为会聚的第三光束，第三光束用于计算透明或半透明待测平板或薄膜的厚度。本申请提供的测厚探头通过光束转换输出第一贝塞尔光束进行测厚提高了测量量程，且在量程范围内保持了横向采样分辨率的一致。 | ||
| 搜索关键词： | 探头 装置 方法 | ||
【主权项】：
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