[发明专利]一种高精度氮氧传感器陶瓷芯片在审
| 申请号： | 202210879284.0 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN115343349A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 韩飞;付妍博;魏勇建;谷谢天;钱璐;张苗化;张懿民;陈昱;窦培谦;冀妍妍 | 申请（专利权）人： | 西安创研电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/416 | 分类号： | G01N27/416 |
| 代理公司： | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人： | 郝燕燕 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市雁塔*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种高精度氮氧传感器陶瓷芯片，包括第一层氧化锆基片～第六层氧化锆基片，第三层氧化锆基片下表面设有第一氧化铝膜片，第一层氧化锆基片上设有外电极，第二层氧化锆基片上表面和下表面均设有凹槽与第一层氧化锆基片和第三层氧化锆基片形成上狭缝a和下狭缝b，与外界空气相连通的上狭缝a与下狭缝b之间第二层氧化锆基片上加工有与之相连通的气体缓冲腔k、内设有第一内电极的第一反应腔j、内设有第二内电极的第二反应腔h、过渡腔c，第三层氧化锆基片和第一氧化铝膜片上设有测量通道g、第四层氧化锆基片上设内有测量电极的测量腔室f，第四层氧化锆基片上设参比电极和参比通道d，第五层氧化锆基片和第六层氧化锆基片之间设内有加热电极的加热电极绝缘层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 传感器 陶瓷 芯片 | ||
【主权项】：
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