[发明专利]图像传感器在审

专利信息
申请号: 202210878295.7 申请日: 2022-07-25
公开(公告)号: CN115692440A 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 金廷玹;金范锡;朴钟勋;俞铉根;李允基 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 赵南;李竞飞
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种图像传感器,包括:衬底,其包括像素区并具有第一表面、与第一表面相对的第二表面、以及从第一表面凹陷的第一沟槽;浅器件隔离图案,设置在第一沟槽中;以及深器件隔离图案,位于像素区之间并设置在衬底中。深器件隔离图案包括穿透衬底的至少一部分的半导体图案,以及设置在衬底和半导体图案之间的隔离图案。隔离图案包括与第二表面相邻的第一隔离图案和与第一表面相邻的第二隔离图案。第一隔离图案与第二隔离图案接触处的第一界面与浅器件隔离图案间隔开。第一隔离图案包括与第二隔离图案的材料不同的材料。
搜索关键词: 图像传感器
【主权项】:
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