[发明专利]一种薄膜光电器件在审
| 申请号： | 202210859819.8 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN116246941A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张永亮 | 申请（专利权）人： | 张永亮 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 孙朝锐 |
| 地址： | 721000 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本申请提供一种薄膜光电器件，涉及半导体技术领域，该薄膜光电器件包括：基板、电极层、载流子层、光电转换层；该载流子层用于电子和空穴的传输；光电转换层用于根据电子和空穴的传输进行光能与电能的转换；其中，电极层、载流子层、以及光电转换层在基板上通过电泳沉积形成多层薄膜堆叠的结构。通过仅利用电泳沉积的方式制备电极层、载流子层、以及光电转换层等多个功能涂层的制备方案，可以实现LED、薄膜激光器、光伏电池、光电探测器等薄膜光电器件的全结构层制备，工艺流程简单，减小了制备成本，缩短了制备周期，并且产品质量稳定，方法灵活可以大面积制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 光电 器件 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
