[发明专利]盐和包含其的光致抗蚀剂在审
| 申请号： | 202210859105.7 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115079517A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | E·阿卡德;J·F·卡梅伦;J·W·萨克莱 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C07C395/00;C07D345/00;C07C309/19;C07C309/10;C07C62/06;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及光致抗蚀剂组合物、用于提供光致抗蚀剂浮雕图像的方法以及盐和包含其的光致抗蚀剂。提供新Te盐化合物，其包括适用于极紫外光刻的光活性碲盐化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 包含 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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