[发明专利]一种陶瓷靶材及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202210857133.5 申请日: 2022-07-20
公开(公告)号: CN115073172B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 宋希文;王志刚;谢敏;郭毛毛 申请(专利权)人: 内蒙古科技大学
主分类号: C04B35/48 分类号: C04B35/48;C04B35/622;C23C14/34;F01D5/28
代理公司: 北京博尔赫知识产权代理事务所(普通合伙) 16045 代理人: 李伟
地址: 014010 内蒙古*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 本申请属于热障涂层技术领域。本发明提供了一种陶瓷靶材及其制备方法和应用,本发明陶瓷靶材采用下列摩尔百分比的原料制备得到氧化锆89~96%、氧化钪2~10%、氧化钇0.5~4%、其他稀土氧化物0.1~3%。本发明基于多元稀土协同掺杂对传统氧化锆材料优化改性,实现耐海洋环境腐蚀性能提升设计;本发明还提供了制备方法,将原料进行球磨、烘干、煅烧、造粒后,得到造粒粉体,对造粒粉体进行预压、二次加压和排胶,得到陶瓷靶材素坯,最后对素坯进行煅烧,即得陶瓷靶材;本发明的制备方法可从根本上避免Cl、S等杂质的引入且更适合批量工业化生产,得到的新型氧化锆基热障涂层材料可在模拟海洋环境具备优异的高温物相稳定性。
搜索关键词: 一种 陶瓷 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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