[发明专利]一种氧化亚硅的生产设备及方法有效
| 申请号： | 202210849933.2 | 申请日： | 2022-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN115140739B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 宗鑫;赵建文;马海安;陈喜清;田宗浩 | 申请（专利权）人： | 新疆晶硕新材料有限公司;新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/113 | 分类号： | C01B33/113 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 李红标 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化亚硅的生产设备及方法，生产设备包括：第一炉体，第一炉体具有第一腔室；坩埚设置于第一腔室中；过渡管的一端与第一腔室连通；第二炉体具有第二腔室，过渡管的另一端与第二腔室连通；冷基体可转动地设置于第二腔室中。在使用过程中，可以将硅原料与二氧化硅原料加入坩埚中加热，使生成的氧化亚硅气体通过过渡管进入第二腔室中，进入第二腔室中的氧化亚硅气体经过冷基体的冷凝生成固态的氧化亚硅。将氧化亚硅的升华腔室与冷凝腔室分开并通过过渡管连通，使得氧化亚硅冷凝后的纯度更好，杂质少，均一性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 生产 设备 方法 | ||
【主权项】：
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