[发明专利]一种水性剥离液及其用途在审
| 申请号： | 202210848045.9 | 申请日： | 2022-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN115167083A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 深圳深骏微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C23G1/26 |
| 代理公司： | 广东金泰智汇专利商标代理事务所(普通合伙) 44721 | 代理人： | 郭正江 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种剥离液及其用途，属于液晶面板和半导体生产技术领域。所述剥离液包括抗蚀剂，烷醇胺，环状胺，有机酸，水溶性有机溶剂和水，所述抗蚀剂包括式I所示化合物。所述剥离液剥离效果好，且所述剥离液对金属腐蚀性小，可用于高精度液晶面板和半导体的光刻胶剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 水性 剥离 及其 用途 | ||
【主权项】：
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