[发明专利]曝光装置和制造物品的方法在审
| 申请号： | 202210823560.1 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN115616868A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 江本圭司;金石守 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 汪晶晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及曝光装置和制造物品的方法。本发明提供了一种曝光装置，用于对基板中的多个拍摄区域中的每个拍摄区域执行扫描曝光，包括：载物台，被配置为保持基板；驱动器，被配置为驱动载物台；以及控制器，被配置为在根据驱动曲线来控制驱动器的同时控制对多个拍摄区域中的每个拍摄区域的扫描曝光，其中驱动曲线包括其中载物台在第一方向上以恒定加速度被驱动的第一区段、其中载物台在与第一方向相反的第二方向上以恒定加速度被驱动的第二区段，以及连接第一区段和第二区段的连接区段，并且其中执行扫描曝光的时段包括连接区段的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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