[发明专利]曝光装置和制造物品的方法

权利要求书

1.一种曝光装置，用于对基板中的多个拍摄区域中的每个拍摄区域执行扫描曝光，所述曝光装置包括：

载物台，被配置为保持基板；

驱动器，被配置为驱动载物台；以及

控制器，被配置为在根据用于驱动载物台的驱动曲线来控制驱动器的同时控制对所述多个拍摄区域中的每个拍摄区域的扫描曝光，

其中驱动曲线包括其中载物台在第一方向上以恒定加速度被驱动的第一恒定加速度区段、其中载物台在与第一方向相反的第二方向上以恒定加速度被驱动的第二恒定加速度区段，以及连接第一恒定加速度区段和第二恒定加速度区段使得载物台的加速度连续改变的连接区段，以及

其中执行扫描曝光的时段包括连接区段的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的装置，其中

驱动曲线中的连接区段形成为弯曲形状，使得载物台的加速度在第一恒定加速度区段中的加速度和第二恒定加速度区段中的加速度之间单调改变。

3.根据权利要求1所述的装置，其中

驱动曲线中的连接区段形成为正弦波形状。

4.根据权利要求1所述的装置，其中

驱动曲线中的连接区段形成为由多项式表达的形状。

5.根据权利要求1所述的装置，其中

驱动曲线中的连接区段形成为以连接区段的中心点为对称点的点对称弯曲形状。

6.根据权利要求1所述的装置，其中

驱动曲线中的连接区段形成为使得，当连接区段被分解成三角级数时，三角级数的频率不高于载物台的驱动的控制系统的带宽。

7.根据权利要求1所述的装置，其中

驱动曲线在整个范围内由可微分弧线形成。

8.根据权利要求1所述的装置，其中

在连接区段的部分时段中执行扫描曝光。

9.根据权利要求1所述的装置，其中

在包括整个连接区段、与连接区段连续的第一恒定加速度区段的一部分以及与连接区段连续的第二恒定加速度区段的一部分的时段中执行扫描曝光。

10.根据权利要求1所述的装置，其中

在驱动曲线的第一恒定加速度区段和/或第二恒定加速度区段中，载物台的加速度的绝对值被设置成驱动器能够驱动载物台的最大加速度。

11.根据权利要求1所述的装置，其中

连接区段用弧线连接第一恒定加速度区段和第二恒定加速度区段以不包括其中载物台以恒定速度移动的时段。

12.一种制造物品的方法，该方法包括：

通过使用根据权利要求1至11中的任一项所述的曝光装置在基板上形成图案；

处理上面已形成图案的基板以制造制品。