[发明专利]蒸镀设备、蒸镀系统以及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202210820657.7 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN115233161A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 张雪峰;冯士振;赵晶晶;刘明星 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 臧静 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀设备、蒸镀系统以及蒸镀方法，蒸镀设备包括：基体，具有蒸镀腔，蒸镀腔包括沿第一方向相继分布的第一蒸镀区以及第二蒸镀区；引导部件，位于第一蒸镀区以及第二蒸镀区；蒸发源组件，设置于引导部件，蒸发源组件包括第一蒸发源以及第二蒸发源，第一蒸发源以及第二蒸发源分别与引导部件可移动连接，第一蒸发源以及第二蒸发源均能够于第一蒸镀区以及第二蒸镀区往复移动，且第一蒸发源以及第二蒸发源均能够沿第二方向相对于引导部件往复移动，第二方向与第一方向相交。本发明实施例能够满足器件的蒸镀需求，同时其所应用的蒸镀系统造价低，占用空间小，产能利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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