[发明专利]异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法在审

专利信息
申请号: 202210819920.0 申请日: 2022-07-13
公开(公告)号: CN115609466A 公开(公告)日: 2023-01-17
发明(设计)人: 秋山秀 申请(专利权)人: AGC株式会社
主分类号: B24B37/10 分类号: B24B37/10;B24B37/34;B24B49/08;G01N29/04;G01N29/22
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 杨青;安翔
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种异常检测装置,具备:AE传感器(61),设于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的研磨平台(20);浆料流路(29),在研磨板(40)的上表面(40a)开口并与AE传感器(61)的检测面(63)相连;液体供给装置(12),向浆料流路(29)供给浆料(S),使浆料(S)介于玻璃板(G)与检测面(63)之间并从研磨板(40)的上表面(40a)送出;以及异常检测部(17),基于来自经由浆料(S)对来自玻璃板(G)的弹性波进行检测的AE传感器(61)的检测信号来判定玻璃板(G)的异常的有无。并且,涉及一种异常检测方法以及包括该异常检测方法的玻璃板的生产方法。
搜索关键词: 异常 检测 装置 方法 以及 玻璃板 生产
【主权项】:
暂无信息
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