[发明专利]异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法

权利要求书

1.一种异常检测装置，具备：

AE传感器，设于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台；

流路，在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连；

液体供给部，向所述流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出；以及

异常检测部，基于来自经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测的所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。

2.根据权利要求1所述的异常检测装置，其中，

所述AE传感器配置于所述被加工物的载置位置的正下方。

3.根据权利要求1或2所述的异常检测装置，其中，

所述被加工物为玻璃板。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的异常检测装置，其中，

所述液体为浆料，

所述异常检测装置具有气体供给部，该气体供给部连接于将所述液体供给部与所述流路相连的供给流路，

所述气体供给部每隔规定时间向所述供给流路供给气体。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的异常检测装置，其中，

所述AE传感器的所述检测面和所述加工台的上表面所成的角为0°以上且10°以下。

6.一种异常检测方法，其中，

将AE传感器设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，

通过供给流路向在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连的流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出，

利用所述AE传感器经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测，

基于来自所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。

7.根据权利要求6所述的异常检测方法，其中，

将所述AE传感器配置于所述加工台中的所述被加工物的载置位置的正下方。

8.根据权利要求6或7所述的异常检测方法，其中，

所述被加工物为玻璃板。

9.根据权利要求6～8中的任一项所述的异常检测方法，其中，

使用浆料作为所述液体，

每隔规定时间向所述供给流路供给气体。

10.根据权利要求6～9中的任一项所述的异常检测方法，其中，

使所述AE传感器的检测面和所述加工台的上表面所成的角为0°以上且10°以下。

11.一种玻璃板的生产方法，包括权利要求6～10中的任一项所述的异常检测方法。