[发明专利]异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法

说明书

本发明涉及一种异常检测装置，具备：AE传感器(61)，设于对载置于上部的玻璃板(G)进行加工的研磨平台(20)；浆料流路(29)，在研磨板(40)的上表面(40a)开口并与AE传感器(61)的检测面(63)相连；液体供给装置(12)，向浆料流路(29)供给浆料(S)，使浆料(S)介于玻璃板(G)与检测面(63)之间并从研磨板(40)的上表面(40a)送出；以及异常检测部(17)，基于来自经由浆料(S)对来自玻璃板(G)的弹性波进行检测的AE传感器(61)的检测信号来判定玻璃板(G)的异常的有无。并且，涉及一种异常检测方法以及包括该异常检测方法的玻璃板的生产方法。

技术领域

本发明涉及异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法。

背景技术

例如，在对于用于LCD(Liquid Crystal Display：液晶显示器)或OLED(OrganicLight-Emitting Diode：有机发光二极管)等的平板显示器(FPD：Flat Panel Display)用的玻璃板的各种加工中，在少数情况下会在玻璃板中产生裂缝等损伤。因此，作为对玻璃板进行研磨的研磨装置，已知有具备早期对玻璃板的裂缝进行检测的检测装置的装置(例如参照专利文献1)。

该检测装置具备向玻璃板供给液体的液体供给部、配置于与液体接触的位置的AE传感器、对从检测到来自玻璃板的弹性波的AE传感器输入的AE信号进行处理的信号处理部。并且，在该检测装置中，信号处理部通过来自AE传感器的AE信号超过规定的阈值来判断玻璃板的裂缝。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2020-185659号公报

上述专利文献1中记载的检测装置具有在研磨平台的上表面开口并与AE传感器相连的浆料流入孔，供给到研磨垫的浆料流入浆料流入孔并填充。由此，成为浆料介于AE传感器的检测面与玻璃板的被研磨面之间的状态，在该状态下对来自玻璃板的弹性波进行检测。

另外，在上述的检测装置中，在浆料流入孔内的浆料中混入空气时，有可能弹性波的传播被混入到该浆料中的空气阻挡，难以对玻璃板的微小的裂缝等异常进行检测。并且，有可能浆料中包含的固体粒子会堆积于AE传感器的检测面，基于AE传感器的玻璃板的裂缝的检测精度下降。

因此，本发明的目的在于提供一种能够高精度地检测对于被加工物的各种加工时的异常的异常检测装置、异常检测方法以及玻璃板的生产方法。

发明内容

本发明由下述结构构成。

(1)一种异常检测装置，具备：

AE传感器，设于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台；

流路，在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连；

液体供给部，向所述流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出；以及

异常检测部，基于来自经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测的所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。

(2)一种异常检测方法，其中，

将AE传感器设置于对载置于上部的被加工物进行加工的加工台，

通过供给流路向在所述加工台的上表面开口并与所述AE传感器的检测面相连的流路供给液体，使所述液体介于所述被加工物与所述检测面之间并从所述加工台的上表面送出，

利用所述AE传感器经由所述液体对来自所述被加工物的弹性波进行检测，

基于来自所述AE传感器的检测信号来判定所述被加工物的异常的有无。