[发明专利]一种抽真空装置以及其控制方法在审
| 申请号： | 202210817275.9 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN115354293A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 吴向红 | 申请（专利权）人： | 超微声科技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 | 代理人： | 薛晓萌 |
| 地址： | 215512 江苏省苏州市常熟市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体镀膜领域技术领域，尤其涉及一种抽真空装置以及其控制方法。该抽真空装置中的底座具有通风腔，底座的上表面开设有多个通风口与通风腔相连通，底座安装于真空腔室底部，底座上表面用于承载基片。机械泵与真空腔室相连，用于对真空腔室进行抽取真空。第一机壳具有第一容纳腔，第一容纳腔与真空腔室相连通。蒸发器安装于第一容纳腔内，蒸发器用于将真空腔室内进入第一机壳内的气体冷凝液化。第二机壳具有第二容纳腔，第二容纳腔与第一容纳腔相连通，第二容纳腔还与通风腔相连通。冷凝器安装于第二容纳腔内，冷凝器用于将第二机壳内的气体加热后输送至通风腔内。本发明用于镀膜设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于超微声科技术（苏州）有限公司，未经超微声科技术（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210817275.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
