[发明专利]应用于太阳能电池扩散工艺的电池片追溯方法在审
| 申请号： | 202210813921.4 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN115410955A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;李辉 | 申请（专利权）人： | 上海哥瑞利软件股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18;G06K7/10 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 田敏 |
| 地址： | 201199 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于太阳能电池扩散工艺的电池片追溯方法，包括扩散上料追溯方案、扩散下料追溯方案，上料防止设备读取花篮为空，在上料时为了防止设备RFID读取花篮失败，这里通过系统接入AGV数据，系统将会记录上游来料信息，把上游数据记录在数据库中，若设备能够读取到花篮ID时，系统将会根据设备读取的为准取对应数据，当设备读取为空时，通过缓存数据库中的花篮信息对应补录硅片信息；在下料前设备将会在下料口P03和P04中上花篮。本申请能够实现单片追溯并且给工厂的工艺、生产等部门提供了有力的分析数据。本申请降低了设备的开发难度，通过C#开发实现了单片追溯达到前所未有的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 太阳能电池 扩散 工艺 电池 追溯 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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