[发明专利]空域整形飞秒激光实现半球谐振子跨尺度质量调平的方法有效
| 申请号： | 202210810761.8 | 申请日： | 2022-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN114985942B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;郭茂林;王素梅;王猛猛;李欣;董希明;朱伟华 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/064;B23K26/073 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的空域整形飞秒激光实现半球谐振子跨尺度质量调平的方法，属于飞秒激光应用领域。本发明通过将高斯型飞秒激光整形为圆形形平顶光，实现光场能量均匀化，用于半球谐振子表面纳克、微克级及以上的质量去除，能够避免传统飞秒激光扫面质量去除时的底部粗糙度大、边缘毛刺多，提高半球谐振子表面修调质量；同时采用飞秒激光平凸透镜或物镜单点加工的方式，实现质量去除，对粗调后的半球谐振子进行局部微小质量不平衡精调，实现毫克‑微克‑纳克‑皮克等跨多个尺度的半球谐振子精密质量调平，提高调平精度与效率；通过调节光路中衰减片的角度位置，实现激光能量的线性调节，控制扫面加工时的深度及单点凹坑的体积大小，实现预定质量的去除。 | ||
| 搜索关键词： | 空域 整形 激光 实现 半球 谐振子 尺度 质量 方法 | ||
【主权项】：
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