[发明专利]磁悬浮搅拌装置及电镀装置在审

专利信息
申请号: 202210798087.6 申请日: 2022-07-06
公开(公告)号: CN115161754A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 史蒂文·贺·汪;林鹏鹏 申请(专利权)人: 新阳硅密(上海)半导体技术有限公司
主分类号: C25D21/10 分类号: C25D21/10;C25D17/02
代理公司: 上海弼兴律师事务所 31283 代理人: 蔡烨平;何桥云
地址: 201616 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种磁悬浮搅拌装置及电镀装置,涉及搅拌设备领域,一种磁悬浮搅拌装置,设置于电镀槽内,磁悬浮搅拌装置包括:电磁感应环,电磁感应环安装在搅拌装置的定子上,电磁感应环包括环向设置的多组线圈,相邻线圈的电流流向相反;搅拌机构,搅拌机构设置在电磁感应环的环形内侧或内侧上方,搅拌机构包括与线圈对应设置的永磁体;电磁感应环通过线圈的电流时序产生的磁场驱动搅拌机构在电镀槽内悬浮和沿电磁感应环的环向旋转。搅拌机构通过电磁感应环产生的磁场旋转和悬浮,搅拌机构在旋转过程中,不会与其他零件发生接触和摩擦,因此不会产生碎屑等杂质,因此不会对所处的环境发生污染。
搜索关键词: 磁悬浮 搅拌 装置 电镀
【主权项】:
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