[发明专利]用于太阳能电池电镀工艺中的曝光设备和边缘曝光的方法在审
| 申请号： | 202210789653.7 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN115016231A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 杨保平;何少锋 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 朱鸿雁 |
| 地址： | 230088 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于太阳能电池电镀工艺中的曝光设备和边缘曝光的方法，曝光设备包括放置平台、正面光源、背光源和控制器，放置平台具有透光性，用于放置太阳能电池片，太阳能电池片的上表面和侧面均涂敷有感光材料；正面光源位于放置平台的上方，用于投射光线至太阳能电池片的上表面，以对太阳能电池片的表面进行图像曝光；背光源位于放置平台的下方，背光源发出的光线透过放置平台投射到太阳能电池片的侧面上，以对太阳能电池片边缘进行曝光；控制器与正面光源和背光源连接，用于控制正面光源和背光源。本发明的设备和方法，可以使得太阳能电池片的边缘侧面的曝光完全穿透感光材料，简单有效地实现电池片边缘绝缘。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 电镀 工艺 中的 曝光 设备 边缘 方法 | ||
【主权项】：
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