[发明专利]电源控制系统及电源控制方法有效
| 申请号： | 202210785442.6 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN114859797B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 高阔;孙文彬 | 申请（专利权）人： | 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;G08B21/18 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 董艳芳 |
| 地址： | 226400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种电源控制系统及电源控制方法，涉及电源技术领域。该电源控制系统包括：状态控制模块和停机模块；状态控制模块的供电输入端连接电源柜的供电输出端，状态控制模块的供电输出端连接刻蚀设备的电源端；刻蚀设备的通信端连接状态控制模块的第一输入端，以向状态控制模块输入刻蚀设备的设备状态信号，状态控制模块的第二输入端连接停机模块的输出端，用以接收来自停机模块的电源关闭信号，以使得状态控制模块基于设备状态信号确定电源控制系统处于在线状态时，基于电源关闭信号，通过调整状态控制模块的供电输入端和供电输出端之间的电通路，对刻蚀设备进行断电。本申请可以提高针对刻蚀设备的电源控制的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 电源 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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