[发明专利]电源控制系统及电源控制方法

权利要求书

1.一种电源控制系统，应用于电感耦合等离子体刻蚀设备，其特征在于，所述电源控制系统包括：状态控制模块和停机模块；所述状态控制模块的供电输入端连接电源柜的供电输出端，所述状态控制模块的供电输出端连接所述刻蚀设备的电源端；

所述刻蚀设备的通信端连接所述状态控制模块的第一输入端，以向所述状态控制模块输入所述刻蚀设备的设备状态信号，所述状态控制模块的第二输入端连接所述停机模块的输出端，用以接收来自所述停机模块的电源关闭信号，以使得所述状态控制模块基于所述设备状态信号确定所述电源控制系统处于在线状态时，基于所述电源关闭信号，通过调整所述状态控制模块的供电输入端和供电输出端之间的电通路，对所述刻蚀设备进行断电，所述在线状态用于指示所述刻蚀设备处于非刻蚀工作状态，所述电源控制系统响应所述电源关闭信号对所述刻蚀设备断电；

所述状态控制模块包括：供电控制模块，以及状态切换模块，所述状态控制模块的供电输入端为所述供电控制模块的供电输入端，所述状态控制模块的供电输出端为所述供电控制模块的供电输出端；

所述状态控制模块的第一输入端为所述状态切换模块的第一通信端，所述状态切换模块的第二通信端连接所述供电控制模块的第一通信端，所述供电控制模块的安全输入端为所述状态控制模块的第二输入端。

2.根据权利要求1所述的电源控制系统，其特征在于，所述设备状态信号为：所述刻蚀设备的反应腔的真空状态信号，所述刻蚀设备的反应腔的温度信号、等离子体产生信号或刻蚀气体输入信号。

3.根据权利要求1所述的电源控制系统，其特征在于，所述供电控制模块为安全继电器模块，所述安全继电器模块的供电输出端和所述刻蚀设备的电源端之间连接有接触器；所述安全继电器模块的两个重启输入端之间连接有所述接触器和启动模块。

4.根据权利要求1所述的电源控制系统，其特征在于，所述电源控制系统包括至少两组停机模块，每组停机模块的输出端连接所述供电控制模块的一组安全输入端。

5.根据权利要求4所述的电源控制系统，其特征在于，所述每组停机模块包括：串联的急停模块和停止模块，至少两组停机模块中的急停模块分别通过对应的安全输入端连接所述供电控制模块内的第一控制模块，所述至少两组停机模块中的停止模块分别通过对应的安全输入端连接所述供电控制模块内的第二控制模块。