[发明专利]一种基于Sc掺杂浓度变化的体声波滤波器有效
| 申请号： | 202210784692.8 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN114866058B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02;H03H9/56;H03H9/58;H10N30/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种基于Sc掺杂浓度变化的体声波滤波器。所述体声波滤波器包括基板、底电极、空腔、多层体压电层、顶电极和钝化层；所述底电极、多层体压电层、顶电极和钝化层依次按层级布设于所述基板上；其中，所述多层体压电层包括多个掺钪浓度不同的掺钪压电子层。本发明能够在增加整体压电层掺钪浓度，减小滤波器尺寸的前提下，进一步有效防止体声波滤波器机电耦合系数的降低，有效提高尺寸降低的滤波器的性能质量和运行稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 sc 掺杂 浓度 变化 声波 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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