[发明专利]一种基于Sc掺杂浓度变化的体声波滤波器

权利要求书

1.一种基于Sc掺杂浓度变化的体声波滤波器，其特征在于，所述体声波滤波器包括基板（1）、底电极（2）、空腔（3）、多层体掺钪压电层（4）、顶电极（5）和钝化层（6）；所述底电极（2）、多层体掺钪压电层（4）、顶电极（5）和钝化层（6）依次按层级布设于所述基板（1）上；所述空腔（3）为带凹槽的基板（1）和底电极（2）之间形成的腔体；

当多层体掺钪压电层（4）包括第一掺钪压电层（41）、第二掺钪压电层（42）和第三掺钪压电层（43）时；所述第一掺钪压电层（41）、第二掺钪压电层（42）和第三掺钪压电层（43）的掺钪浓度各不同，并且，所述第一掺钪压电层（41）的掺钪浓度为0.023；所述第二掺钪压电层（42）的掺钪浓度为0.018；所述第三掺钪压电层（43）的掺钪浓度为0.012；

当所述多层体掺钪压电层（4）包括第一掺钪压电层（41）、第二掺钪压电层（42）、第三掺钪压电层（43）和第四掺钪压电层（44）时；所述第一掺钪压电层（41）的掺钪浓度为0.027；所述第二掺钪压电层（42）的掺钪浓度为0.025；所述第三掺钪压电层（43）的掺钪浓度为0.020；所述第四掺钪压电层（44）的掺钪浓度为0.015；

或

所述第一掺钪压电层（41）的掺钪浓度为0.015；所述第二掺钪压电层（42）的掺钪浓度为0.013；所述第三掺钪压电层（43）的掺钪浓度为0.012；所述第四掺钪压电层（44）的掺钪浓度为0.008。

2.根据权利要求1所述体声波滤波器，其特征在于，当多层体掺钪压电层（4）包括第一掺钪压电层（41）、第二掺钪压电层（42）和第三掺钪压电层（43）时；所述第一掺钪压电层（41）紧贴于所述顶电极（5）的一侧；所述第二掺钪压电层（42）设置于所述第一掺钪压电层（41）远离顶电极（5）的一侧；所述第三掺钪压电层（43）设置于所述第二掺钪压电层（42）的远离所述第一掺钪压电层（41）的一侧，并且，所述第三掺钪压电层（43）紧贴于所述底电极（2）。

3.根据权利要求2所述体声波滤波器，其特征在于，所述第一掺钪压电层（41）沿所述基板（1）宽度方向上延展的长度大于顶电极（5）延所述基板（1）宽度方向上延展的长度，且小于基板（1）的宽度；所述第二掺钪压电层（42）和第三掺钪压电层（43）沿所述基板（1）宽度方向上延展的长度与所述基板（1）宽度相同。

4.根据权利要求1所述体声波滤波器，其特征在于，当所述多层体掺钪压电层（4）包括第一掺钪压电层（41）、第二掺钪压电层（42）、第三掺钪压电层（43）和第四掺钪压电层（44）时；所述第一掺钪压电层（41）、第二掺钪压电层（42）、第三掺钪压电层（43）和第四掺钪压电层（44）中每相邻的两个压电层的掺钪浓度不同。

5.根据权利要求4所述体声波滤波器，其特征在于，所述第四掺钪压电层（44）紧贴于所述底电极（2）的顶端，并沿所述基板（1）宽度方向上延展至覆盖基板（1），且，所述第四掺钪压电层（44）的厚度与所述底电极（2）厚度相同；所述第三掺钪压电层（43）、第二掺钪压电层（42）和第一掺钪压电层（41）沿所述底电极（2）向顶电极（5）的方向依次逐层布设。

6.根据权利要求5所述体声波滤波器，其特征在于，所述第二掺钪压电层（42）的厚度大于第一掺钪压电层（41）的厚度；所述第三掺钪压电层（43）的厚度不得低于所述第二掺钪压电层（42）厚度的63%。