[发明专利]一种低真空下的聚合物薄膜复介电系数测量装置和方法在审
| 申请号： | 202210774489.2 | 申请日： | 2022-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN115166373A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 张冶文;李俊;吕天华;张文豪;郑飞虎 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26;G01R17/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 夏健君 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低真空下的聚合物薄膜复介电系数测量装置和方法，装置包括玻璃罩、上电极、下电极、电极升降装置、双自由度调节结构、同轴电缆、同轴电缆支撑架、密封转接头、O圈、底座、玻璃隔板、真空泵接口、真空计接口、电桥高压端接口、电桥接地端接口、密封通路；测量方法包括抬起玻璃罩，通过升降装置控制上电极升起，将样品展开放置在下电极中心，再控制上电极下降至与样品紧密贴合，利用真空泵将玻璃腔室内的空气抽出，并保持真空度，从而通过电桥测量复介电系数。与现有技术相比，本发明极大缩减了测量复介电系数的成本，同时也克服了非接触法在测量厚度较薄的薄膜时误差较大的局限，测量装置操作简单，精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 聚合物 薄膜 复介电 系数 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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