[发明专利]一种PERC电池的制备方法在审
| 申请号： | 202210764248.X | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115207135A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 李兵;赵增超;成秋云;李明 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18;H01L31/04;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/50;C30B33/00;C30B33/10 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 何文红 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PERC电池的制备方法，包括以下步骤：对P型硅片正面进行制绒、生长磷掺杂氧化层、对金属化区域进行开窗处理、对激光开窗区域进行制绒和化学氧化处理、在P型硅片正面生长磷掺杂非晶硅薄膜、退火处理、对非金属化区域进行开窗处理、去除非金属化区域的掩膜。本发明PERC电池的制备方法具有工艺简单、易于操作、图形尺寸精确可控、对底层发射极损伤小等优点，且由此制得的PERC电池具有更好的效率，同时本发明制备方法与常规PERC电池制备路线高度重合，只需要增加CVD的设备用来制备poly‑finger结构，因而可以有效利用现有产线完成生产，有利于进一步降低制备成本，更适合于推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 制备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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