[发明专利]一种光调制的微环谐振腔及制备方法有效
| 申请号： | 202210754408.2 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN114815074B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李朝晖;陈鸿飞;傅志豪 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02B6/293 | 分类号： | G02B6/293 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王晓玲 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子集成光电子器件技术领域，更具体地，涉及一种光调制的微环谐振腔及制备方法；由下至上依次包括基底层、相变材料薄膜和包层薄膜；在所述的相变材料薄膜上通过连外部激励信号刻画有直母线波导和环形波导，所述的直母线波导和环形波导通过耦合区耦合。本发明提供的微环谐振腔，制备工艺简单，减少了电极结构，提高了集成度；能够通过用光信号激励环形波导使环形波导的折射率发生改变从而达到调制作用，还具有重构的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调制 谐振腔 制备 方法 | ||
【主权项】：
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