[发明专利]一种薄膜表面微变形的观测方法有效

专利信息
申请号: 202210754384.0 申请日: 2022-06-30
公开(公告)号: CN114812425B 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 景丽;石少进;刘建;鞠金虎;王峰;高敬澎 申请(专利权)人: 江苏康辉新材料科技有限公司
主分类号: G01B11/16 分类号: G01B11/16
代理公司: 上海统摄知识产权代理事务所(普通合伙) 31303 代理人: 杜亚
地址: 215211 江苏省苏州市吴江区黎里镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种薄膜表面微变形的观测方法,在不透光的环境中,将点光源、圆形的凸透镜、平面形的薄膜、视窗依次间距排列,调整四者的相对位置使得点光源发射的光线经过凸透镜折射后穿过薄膜在视窗上形成圆形的光圈,在视窗背离薄膜的一侧观察有无暗影出现,如无,则薄膜表面无微变形;如有,则薄膜表面有微变形,通过测量和计算得到微变形的实际尺寸;点光源位于凸透镜的主光轴上,且点光源到凸透镜的距离小于凸透镜的一倍焦距;薄膜和视窗与凸透镜的主光轴垂直且相交;视窗为面向薄膜的一侧具有透光特性且背离薄膜的一侧具有成像特性的板。本发明方法操作简单高效,可避免人为原因导致微变形漏检,直观地进行微变形大小的测量。
搜索关键词: 一种 薄膜 表面 变形 观测 方法
【主权项】:
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